在全球科技競(jìng)爭(zhēng)格局中，傳感器技術(shù)，尤其是中高端領(lǐng)域，長(zhǎng)期是我國(guó)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一個(gè)短板。諸多關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)受制于人，形成了對(duì)外部的依賴路徑。這種模式下，海外企業(yè)通常扮演技術(shù)開(kāi)拓者，而國(guó)內(nèi)則往往處于后續(xù)跟進(jìn)的態(tài)勢(shì)。這一現(xiàn)象在高端慣性傳感器領(lǐng)域表現(xiàn)得尤為突出。作為國(guó)防軍工、航空航天等國(guó)家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)的核心部件，加速度計(jì)、陀螺儀及IMU（慣性測(cè)量單元）的技術(shù)自主至關(guān)重要。行業(yè)內(nèi)部曾有消息稱，在早期發(fā)展階段，我國(guó)甚至需要通過(guò)分析進(jìn)口設(shè)備，將其中的慣性傳感器回收用于自身的關(guān)鍵裝備。

市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole在2024年發(fā)布的《高端慣性傳感器》報(bào)告揭示了當(dāng)前的全球競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)：該市場(chǎng)由少數(shù)幾家國(guó)際巨頭主導(dǎo)。從地域分布看，美國(guó)以64%的份額占據(jù)絕對(duì)主導(dǎo)，歐洲與中東合計(jì)占據(jù)28%，而亞洲及其他地區(qū)僅分得8%的份額。中國(guó)作為后發(fā)者，在其中所占的比例無(wú)疑處于邊緣位置。

在航空航天、國(guó)防軍工、精密制造等追求極致精度的行業(yè)，石英撓性加速度傳感器（常簡(jiǎn)稱為“石英加計(jì)”）作為核心測(cè)量元件，其性能優(yōu)劣直接關(guān)乎整個(gè)系統(tǒng)的可靠性與精確度。長(zhǎng)期以來(lái)，國(guó)內(nèi)使用的石英加計(jì)產(chǎn)品以傳統(tǒng)模擬輸出型為主，普遍存在信號(hào)轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)復(fù)雜、抗干擾性能不足、系統(tǒng)集成成本高等問(wèn)題。但在近段時(shí)間，經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)科研單位的不斷研發(fā)驗(yàn)證，已經(jīng)出現(xiàn)了成熟的可直接輸出數(shù)字頻率信號(hào)的石英撓性加速度計(jì)產(chǎn)品。

國(guó)內(nèi)企業(yè)破局

智騰微電子是國(guó)家級(jí)專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)，堅(jiān)持以智能傳感為目標(biāo)，依托高可靠傳感技術(shù)與高精度的微電子技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在原有石英加計(jì)與I/F轉(zhuǎn)換電路的成熟應(yīng)用基礎(chǔ)上，歷經(jīng)多年研發(fā)，將石英撓性加速度傳感器與I/F轉(zhuǎn)換電路進(jìn)行了一體化集成，產(chǎn)品經(jīng)過(guò)多輪迭代和小批量試產(chǎn)，并已在某型號(hào)參與靶試驗(yàn)證，產(chǎn)品性能穩(wěn)定、可靠。

數(shù)字頻率輸出石英撓性加速度計(jì)的特點(diǎn)：

1、硬件高度集成：基于自研SoC，在有限的尺寸里設(shè)計(jì)了309電路、I/F轉(zhuǎn)換電路，大幅提升信號(hào)處理效率與穩(wěn)定性

2、安裝原位替換：跟傳統(tǒng)模擬石英加表尺寸一致，無(wú)需更改結(jié)構(gòu)，省去外掛I/F轉(zhuǎn)換電路，節(jié)約系統(tǒng)體積與重量

3、性能指標(biāo)穩(wěn)定：純模擬電路，無(wú)軟件算法，伺服電路與I/F轉(zhuǎn)換電路分離設(shè)計(jì)，I/F轉(zhuǎn)換電路全量程精度可單獨(dú)測(cè)試，硬件電路保證精度，可靠性高

4、量程覆蓋面廣：120G以內(nèi)量程全覆蓋

5、頻率信號(hào)輸出：直接屬于脈沖信號(hào)，

6、內(nèi)置溫度傳感：內(nèi)置溫度傳感器，可進(jìn)行溫度漂移修正

7、質(zhì)量等級(jí)可控：采用混合電路工藝，可適應(yīng)不同質(zhì)量等級(jí)要求

數(shù)字頻率輸出石英撓性加速度計(jì)產(chǎn)品

SQA系列&MSQA系列產(chǎn)品是在傳統(tǒng)石英撓性加速度傳感器基礎(chǔ)上，將電流頻率轉(zhuǎn)換電路與石英加計(jì)的伺服電路進(jìn)行高度集成，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)字伺服閉環(huán)回路。

產(chǎn)品為頻率輸出、具有體積小、精度高抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)，可應(yīng)用于高精度旋轉(zhuǎn)調(diào)制系統(tǒng)。

SQA系列部分參數(shù)（詳細(xì)參數(shù)：數(shù)字輸出石英撓性加速度計(jì)|加速度傳感器|慣性導(dǎo)航 - 青島智騰微電子 (ztmicro.com)）

量程可選或范圍內(nèi)定制：±2/20/35/50/60/70g

頻標(biāo)可選：256/512/1024KHz

偏值月綜合誤差可達(dá)：≤20μg

標(biāo)度因數(shù)月綜合誤差可達(dá)：≤20ppm

MSQA系列部分參數(shù)（詳細(xì)參數(shù)：小型數(shù)字輸出石英撓性加速度計(jì)|大量程加速度傳感器|慣性導(dǎo)航 - 青島智騰微電子 (ztmicro.com)）

量程可選或范圍內(nèi)定制：±2/20/35/50/60/90/120g

頻標(biāo)可選：256/512/1024KHz

偏值月綜合誤差可達(dá)：≤20μg

標(biāo)度因數(shù)月綜合誤差可達(dá)：≤20ppm